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fs1015cl系列气体质量流量传感器 fs1015cl系列气体质量流量传感器是专门为各类医学用气体的测量和过程控制而设计的。产品采用本公司自主研发的微机电系统（mems）流量传感芯片来制作，适用于各类清洁气体。成本低、易安装、不需要温度压力补偿，可替代容积式或压差式的传统流量计。测量范围最大到150slpm，iso 15mm连接方式适用于呼吸机、麻醉机等多种医疗设备。
fs4000系列气体质量流量传感器 fs4003/08系列气体质量流量传感器是专为普通气体流量检测开发的产品。该传感器能直接测量气体质量流量，不需要旁路设置，压损小。该传感器既可用于净化行业中空气或氮气的流量监控，也可用于环境检测行业（如大气采样器）和分析仪器（如色谱分析仪）等。fs4003，管道内径为3mm，测量范围最大到5slpm；适用于粒子计数器和各类分析仪器。fs4008，管道内径为8mm，测量范围最大到50slpm；可用于气体测量和控制设备、麻醉机、环境检测仪、大气采样器和各类分析仪器。
fs5001l系列气体流量传感器 fs5001l系列气体质量流量传感器是专门为各类小流量气体的测量和过程控制而设计的。这一系列传感器均采用本公司自主研发的微机电系统（mems）流量传感器芯片来制作，适用于各类清洁、干燥气体。传感器采用标贴式安装，使安装尺寸更加紧凑，可以很容易的实现在小空间内的多传感器集成。
fs6122系列医用cpap传感器模块 fs6122系列医用cpap传感模块是专为家用呼吸机的cpap系统（持续正压通气系统）而设计流量传感器。传感器集成了mems质量流量芯片和mems压力芯片，从而为cpap系统提供了必要的输出信号。传感器的封装非常小，采用入气口与出气口不同的iso 22mm接口设计，在提供高精度和快速响应的质量流量和压力信号的同时，自身的压损和死腔也非常小。
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    矽翔微机电系统有限公司（矽翔公司，siargo ltd. ）成立于2003年，公司总部位于美国加州硅谷。矽翔公司是目前世界唯一生产具有自主知识产权、低功耗、超大量程mems气体流量计并使之产品化的厂商。其核心部件一mems流量芯片及其专利封...
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